外為法と韓国、サムソン電子、そして米国

１．はじめに

２０１９年７月４日に日本政府は外為法の見直しを行い、韓国向け輸出３品目の輸出管理を強化して個別の輸出審査をすることにした。して２０１９年８月２８日に輸出管理上の国カテゴリーを見直して３分類から４分類とし、韓国をホワイト国（現Ａグループ）からＢグループにした。
このような日本政府による輸出管理の厳格化に対して韓国は、GSOMIA（General Security of Military Information Agreement日韓の軍事情報包括保護協定）の破棄を通告した。しかし米国からの破棄再考要求もあって、韓国は１１月２２日にGSOMIA維持を決定した。

２．韓国向け輸出規制３品目について

韓国向け輸出３品目は従来からも外為法でリスト規制されている品目であって、今回規制値が変更されたわけではない。なお今回の規制は化学品３品目ということではなく、当該製造設備や製造技術も含まれるていることはいうまでもない。
もともと先端材料・先端技術はデュアルユースされるものなので、外為法第１条に「対外取引に対し最小限の管理又は調整を行うことにより……国際社会の平和及び安全を期し…」と記載されている。

次に３品目について、具体的に説明する。表１に３品目の輸出令／省令／規制値／用途等を整理した。

①フッ化水素
フッ化水素は、半導体ウエハー（シリコン基板）の洗浄工程のエッチングガスであって、規制値は３０％超である。
エッチングガス用のフッ化水素には(ⅰ)ドライエッチング用の高純度フッ化水素ガスと、(ⅱ)ウエットエッチング用の高純度フッ酸の２種類がある。
特に高性能半導体向けにはファイブナイン以上の高純度が必要である。

②フッ化ポリイミド
経済産業省から３品目の管理強化が発表された当初、フッ化ポリイミドはスマートフォンのフォウルダブル用フィルム材料であるという報道があった。しかしながらそのような民間用ではなくて、フッ化ポリイミドはPESやPENといったスーパーエンジニアリングプラスチックスの中でも特に低誘電率であることから、半導体の封止剤や基板に展開されることが想定される。

③レジスト
半導体回路をシリコンウェハーに形成する際の露光工程での感光剤であって、規制値からＥＵＶ(Extreme UltraViolet;極端紫外線)レジストのことである。特にデータセンターの情報処理を担うＣＰＵ（中央演算処理装置）用半導体は、回路線巾として７ｎｍが要求される。

表１．輸出規制された３品目について

品目	輸出令	省令	規制値	用途	韓国需要家
フッ化水素	３項 (1)	第２条 1項一ヘ	３０％超	半導体ｳｴﾊｰの洗浄工程のｴｯﾁﾝｸﾞｶﾞｽ。高性能半導体向けには99.999%以上の高純度が必要。	サムソン電子 ＳＫﾊｲﾆｯｸｽ
フッ化ポリイミド	５項 (17)	第４条 十四ロ	ふっ素が１０％以上	スマートフォンのディスプレイ用フィルム材料。	サムソン電子 ＬＧｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ
レジスト	７項 (19)	第６条 十九 (注１)	ＥＵＶ(Extreme UltraViolet;極端紫外線)ﾚｼﾞｽﾄ	半導体回路をｼﾘｺﾝｳｪﾊｰに形成する際の、露光工程での感光剤。回路線巾　７ｎｍ。	サムソン電子

注１．十九　レジストであって、次のいずれかに該当するもの又はそれを塗布した基板

イ　半導体用のﾘｿｸﾞﾗﾌｨに使用するレジストであって、次のいずれかに該当するもの
(一)15nm以上193nm未満の波長の光で使用するように最適化したポジ型レジスト
(二)1nm超15nm未満の波長の光で使用するように最適化したレジスト

ロ　電子ビーム又はイオンビームで使用するために設計したレジストであって、
0.01マイクロクローン毎平方ミリメートル以下の感度を有するもの

ハ　削除

ニ　表面イメージング技術用に最適化したレジスト

ホ　第十七号へ(二)に該当するインプリントリソグラフィ装置に使用するように設計又は最適化したレジストであって、熱可塑性又光硬化性のもの

３．考察

フッ化水素とレジストは半導体を製造する際の必須の材料であり、上記２②に記載したように、フッ化ポリイミドも半導体用途である。
現代技術の主題となっているＡＩ，自動運転、５Ｇも、半導体がベースとなる。「中国２０２５」も半導体自給率を２０２０年までに４０％、２０２５年までに７０％としている。このことを米国が強く認識している結果、日本政府も半導体関連技術の輸出管理強化を打ち出したものであろう。
今回の日本と韓国間の交渉も、両国の米国への配慮の結果であった。
パナソニックが半導体から撤退することが報じられているが（日経新聞２０１９年１１月２９日朝刊）、輸出管理強化をするだけでなく日本の半導体事業を如何にすべきかを考えて頂きたい。

表１に示したように、３品目とも輸出先としてサムソン電子がある。日本政府が２０１９年８月８日にＪＳＲにレジストのサムソン電子向け輸出を許可しており、２０１９年８月３０日にステラケミファにフッ化水素のサムソン電子向け輸出を許可したように、韓国向け輸出３品目は個別審査により輸出が行われている。

今後の韓国向け輸出管理では一般包括許可は使用できないが特別一般包括許可は使用可能であること（但し、上記３品目には使用できない）、またキャッチオール規制には注意する必要があることを銘記されたい。

以上

横堀 勝一